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自動片盒清洗機
適用產業(yè):半導體照明(LED)--半導體材料、半導體分立器件、集成電路、MEMS、有機發(fā)光二級管(OLED)、太陽能光伏等;
控制模式:手動控制模式、自動控制模式;
制程應用:濕法清洗制程;
適用對象:晶片
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