凈化車間有哪些凈化設(shè)備
**:無(wú)塵凈化車間進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)要安裝?新風(fēng)過濾箱?中央凈化空調(diào)(中央凈化空調(diào)要分為初效/中效/三個(gè)過濾段)末端有送風(fēng)口。有必要時(shí)還裝有凈化增壓箱。
第二:無(wú)塵凈化車間回風(fēng)系統(tǒng)要安裝?回風(fēng)口?過濾初效器?中效回風(fēng)箱。
第三:進(jìn)入無(wú)塵凈化車間之前入緩沖區(qū)?緩沖區(qū)門安裝電子互鎖?更衣處放置潔凈儲(chǔ)衣柜?空氣 清新機(jī)。
第四:人和貨物進(jìn)入無(wú)塵凈化車間須經(jīng)過?風(fēng)淋室?貨淋室?傳遞窗主要傳遞小物品。
第五:在無(wú)塵凈化車間內(nèi)局部需要達(dá)到10-1000級(jí)地方安裝垂直層流工作臺(tái)?層流罩(FFU)?潔凈棚(可移式凈化工作棚)?自凈器。測(cè)潔凈室潔凈度用?激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器。
亂流潔凈室的原理和特性
1、定義:亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室.
2、原理:亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈的(亂流潔凈室一般設(shè)計(jì)在千級(jí)以上至30萬(wàn)級(jí)凈化級(jí)別)。
3、特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級(jí)別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別(換氣次數(shù)越多,凈化級(jí)別越高)
(1)、自凈時(shí)間:是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室,室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級(jí)別的時(shí)間。 1,000級(jí)希望不超過20min(分鐘) (可取15min計(jì)算) 10,000級(jí)希望不超過30min(分鐘) (可取25min計(jì)算) 100,000級(jí)希望不超過40min(分鐘) (可取30min計(jì)算)
(2)、換氣次數(shù)(按上述自凈時(shí)間要求設(shè)計(jì))1,000級(jí) 43.5—55.3次/小時(shí) (規(guī)范:50次/小時(shí)) 10,000級(jí) 23.8—28.6次/小時(shí) (規(guī)范:25次/小時(shí)) 100,000級(jí) 14.4—19.2次/小時(shí) (規(guī)范:15次/小時(shí))
潔凈室(Clean Room),亦稱為無(wú)塵室或清凈室。
「潔凈室」是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
作用
潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為「潔凈室」。
世界各國(guó)均有自定規(guī)格,但普遍還是用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國(guó)制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。
209E與209D等之不同在于209E表示單位增加了公制單位,潔凈室等級(jí)以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合國(guó)際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化,M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示,取指數(shù)為之,若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。
美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英呎為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,的等級(jí)為Class 1,差則為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方,取其指數(shù)而得。
潔凈車間及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度等級(jí)按空氣中懸浮粒子濃度來(lái)劃分,就是以每立方米空氣中的允許粒子數(shù)來(lái)確定其空氣潔凈度等級(jí),那么如何定義十萬(wàn)級(jí)、萬(wàn)級(jí)和百級(jí)的潔凈車間呢?
一、幾級(jí)潔凈車間
指潔凈級(jí)別,可以理解為無(wú)塵室,但是無(wú)塵室也是需要換氣的,換進(jìn)去的空氣需要經(jīng)過凈化室凈化,再送到無(wú)塵室。(10萬(wàn))級(jí)要求每小時(shí)換氣15-19次,完全換氣后空氣凈化時(shí)間不超過40分鐘。
二、十萬(wàn)級(jí)、萬(wàn)級(jí)和百級(jí)潔凈車間的凈化參數(shù)
換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次;100≥500次.壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
現(xiàn)今大多數(shù)要求的車間使用的是10萬(wàn)級(jí)凈化車間;而30萬(wàn)級(jí)凈化沉降菌(cfu/,10萬(wàn)級(jí)凈化沉降菌(cfu/皿)為10:10萬(wàn)級(jí)換氣參數(shù)為≥15次/。