技術(shù)參數(shù)；

真空腔體

類型

高溫型室溫到400℃

高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-190℃

腔體材質(zhì)

6061鋁合金 （304不銹鋼可選）

腔體內(nèi)尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

腔體抽氣口

KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）

腔體真空測量口

KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）

腔體進(jìn)氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣品臺材質(zhì)

不銹鋼

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）

樣品臺測溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度

室溫到400℃

室溫到400℃ 室溫到-190℃

樣品臺測溫誤差

±0.5℃

樣品臺升溫速率

高溫100℃/min 值 低溫7℃/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類型

標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號輸入類型

PT100 （可選K S B型熱電偶）

溫控輸出

直流線性電源加熱

直流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG

可擴(kuò)展電學(xué)測試

探針

電信號接頭

配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA

探針數(shù)量

4探針（可擴(kuò)展5探針）

探針材質(zhì)

鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選）

探針尖

10μm

手動探針移動平臺

X軸移動行程

20mm±10mm（需手動推動滑臺）

X軸控制精度

≥500μm

R軸移動行程

120°±60°（需手動旋轉(zhuǎn)探針桿）

R軸控制精度

≥500μm

Z軸移動行程

2mm±1mm

Z軸控制精度

≤50μm（需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿）