制備完成后,ITO靶材在實(shí)際應(yīng)用中還會(huì)遇到一些問(wèn)題:
濺射不均勻:如果靶材內(nèi)部存在微小缺陷或成分偏差,濺射過(guò)程中可能出現(xiàn)局部過(guò)熱,導(dǎo)致薄膜厚度不一致。
靶材破裂:在高功率濺射時(shí),靶材承受的熱應(yīng)力可能超出其極限,造成破裂,進(jìn)而影響生產(chǎn)線(xiàn)的連續(xù)性。
資源限制:ITO靶材依賴(lài)銦這種稀有金屬,而銦的全球儲(chǔ)量有限,價(jià)格波動(dòng)較大。這不僅推高了成本,也促使業(yè)界尋找替代方案。
銦回收具有重要的環(huán)保和經(jīng)濟(jì)效益。通過(guò)回收廢舊靶材中的銦,可以減少對(duì)新資源的開(kāi)采,降低環(huán)境污染,實(shí)現(xiàn)資源的可持續(xù)利用。此外,回收銦還能穩(wěn)定市場(chǎng)供應(yīng),降低生產(chǎn)成本,促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。
在智能手機(jī)、平板電腦、超清電視的光滑屏幕背后,ITO靶材(氧化銦錫)是賦予其透明導(dǎo)電魔力的核心材料。作為ITO靶材的關(guān)鍵成分,銦(In)的穩(wěn)定供應(yīng)直接關(guān)系到全球萬(wàn)億級(jí)顯示產(chǎn)業(yè)的命脈。然而,這種稀散金屬的地緣分布不均(中國(guó)儲(chǔ)量占全球70%以上)和原生礦產(chǎn)的有限性,使得銦的回收再利用不再是環(huán)保課題,更成為保障產(chǎn)業(yè)、實(shí)現(xiàn)供應(yīng)鏈韌性的“閉環(huán)”革命。
閉環(huán)之困:損耗與機(jī)遇并存
ITO靶材在濺射鍍膜過(guò)程中利用率通常僅30%左右,大量含銦廢料(廢舊靶材、邊角料、鍍膜腔室廢料)隨之產(chǎn)生。過(guò)去,這些價(jià)值的廢料往往被簡(jiǎn)單處理或堆積。建立從“廢靶材→再生銦→新靶材”的閉環(huán)體系,成為破解資源約束的黃金路徑。