從物理性質上看,ITO靶材具有以下幾個顯著特點:
高透明度:在可見光范圍內(波長400-700納米),ITO薄膜的透光率可高達90%以上,幾乎與普通玻璃相當。
優(yōu)異導電性:其電阻率通常在10??歐姆·厘米的量級,遠低于大多數(shù)透明材料。
化學穩(wěn)定性:在常溫下,ITO對水、氧氣等環(huán)境因素表現(xiàn)出良好的抗腐蝕能力。
機械耐久性:ITO薄膜具備一定的硬度和耐磨性,能夠應對日常使用中的輕微刮擦。
這些特性讓ITO靶材在實際應用中游刃有余,尤其是在需要兼顧光學和電學性能的場景中。
冷等靜壓法
工藝流程:將混合粉末裝入柔性模具,在室溫下通過高壓(100-300兆帕)壓制成型,隨后在較低溫度下燒結固化。
優(yōu)點:工藝相對簡單,生產成本較低,適合小批量或定制化生產。
缺點:靶材密度和均勻性稍遜,可能在高功率濺射中表現(xiàn)不夠穩(wěn)定。
適用場景:中低端電子產品或實驗室研發(fā)用靶材。
這兩種方法各有千秋,制造商需要根據(jù)具體需求權衡成本與性能。
ITO靶材,即銦錫氧化物靶材,主要由氧化銦(In?O?)和氧化錫(SnO?)組成,其中氧化銦占比高達90%。ITO靶材因其優(yōu)異的導電性和高透光性,成為液晶顯示器(LCD)、觸摸屏及太陽能電池等光電設備的理想材料。其晶體結構穩(wěn)定,電導率高,確保了設備的運行。
銦回收的難點在于其“稀”與“散”。一部廢舊手機含銦量不足0.02克,且深嵌于多層結構的液晶面板中,與玻璃、塑料、其他金屬緊密復合。傳統(tǒng)的物理拆解難以分離,濕法冶金(酸/堿浸出)則面臨成分復雜、雜質干擾、易產生二次污染等嚴峻挑戰(zhàn)。