前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機(jī)物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對(duì)于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進(jìn)行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學(xué)鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導(dǎo)電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
圖形電鍍:通過光刻技術(shù)定義線路圖形,然后對(duì)圖形區(qū)域進(jìn)行電鍍加厚,如鍍銅至 5-15μm,以形成導(dǎo)線主體。對(duì)于高頻高速線路板,常采用脈沖電鍍或周期反向電鍍,以改善鍍層結(jié)晶結(jié)構(gòu)。
常見鍍層材料及應(yīng)用
金:具有良好的導(dǎo)電性、耐腐蝕性和耐磨性,常用于高頻連接器、射頻接口等關(guān)鍵區(qū)域,鍍層厚度一般為 1-3μm。
銀:電阻率低,高頻損耗小,適用于普通信號(hào)焊盤和線路,鍍層厚度約 0.1-0.2μm,但需注意防氧化處理。
銅:作為基礎(chǔ)導(dǎo)電層,廣泛應(yīng)用于線路電鍍,厚度通常在 5-20μm,通過優(yōu)化電鍍工藝,可提高其信號(hào)傳輸性能。
圖形轉(zhuǎn)移:定義線路與鍍層區(qū)域
涂布高精度光刻膠 / 干膜,通過曝光、顯影工藝,將線路圖形轉(zhuǎn)移到基材表面。
高頻高速板對(duì)圖形精度要求,需控制線寬 / 線距偏差≤±1μm,避免開窗偏移導(dǎo)致鍍層錯(cuò)位。
顯影后進(jìn)行檢查修正,去除殘留膠渣,確保線路區(qū)域完全裸露、非線路區(qū)域被保護(hù)。
