低信號(hào)損耗:利用銀等低電阻率金屬作為鍍層材料,在高頻趨膚效應(yīng)下,降低信號(hào)傳輸損耗。如沉銀工藝在 10GHz 信號(hào)下,插入損耗僅為 0.18dB / 厘米。
電鍍液成分:酸性鍍銅液中,硫酸銅、硫酸的濃度以及添加劑的種類和含量,直接影響鍍層的結(jié)晶質(zhì)量和表面平整度。
電流密度:過(guò)高的電流密度會(huì)導(dǎo)致鍍層粗糙、內(nèi)應(yīng)力增大;過(guò)低則會(huì)影響沉積速度和鍍層均勻性。一般脈沖電鍍的電流密度在 1-5A/dm2 之間。
溫度和攪拌:鍍液溫度和攪拌速度會(huì)影響離子擴(kuò)散速度和鍍層的均勻性。如化學(xué)沉銀時(shí),需通過(guò)恒溫?cái)嚢瑁_保銀層均勻性達(dá) 90% 以上。
種子層沉積:構(gòu)建導(dǎo)電基底
采用物相沉積(PVD)或化學(xué)鍍,在絕緣基材表面沉積超薄導(dǎo)電層(銅或鎳)。
種子層厚度控制在 0.1-0.5μm,要求覆蓋均勻、無(wú)針孔,為后續(xù)圖形電鍍提供穩(wěn)定導(dǎo)電通道。
沉積后需做簡(jiǎn)易附著力檢測(cè),避免種子層脫落影響后續(xù)工藝。
圖形轉(zhuǎn)移:定義線路與鍍層區(qū)域
涂布高精度光刻膠 / 干膜,通過(guò)曝光、顯影工藝,將線路圖形轉(zhuǎn)移到基材表面。
高頻高速板對(duì)圖形精度要求,需控制線寬 / 線距偏差≤±1μm,避免開(kāi)窗偏移導(dǎo)致鍍層錯(cuò)位。
顯影后進(jìn)行檢查修正,去除殘留膠渣,確保線路區(qū)域完全裸露、非線路區(qū)域被保護(hù)。
