ITO靶材,全稱(chēng)氧化銦錫靶材,是一種專(zhuān)門(mén)用于磁控濺射鍍膜的材料。氧化銦錫(簡(jiǎn)稱(chēng)ITO)是一種n型半導(dǎo)體材料,通常由90%的氧化銦(In?O?)和10%的氧化錫(SnO?)組成。這種材料以其的透明度和導(dǎo)電性,成為現(xiàn)代電子工業(yè)中不可或缺的組成部分。無(wú)論是智能手機(jī)的觸摸屏、平板電腦的顯示面板,還是太陽(yáng)能電池的透明電極,ITO靶材都以其獨(dú)特的功能支撐著這些設(shè)備的運(yùn)行。
在實(shí)際生產(chǎn)中,ITO靶材通常被加工成圓形或矩形的塊狀,與濺射設(shè)備配合使用。濺射過(guò)程中,靶材的質(zhì)量直接影響薄膜的均勻性、附著力和性能。因此,高質(zhì)量的ITO靶材不僅是技術(shù)要求,更是生產(chǎn)效率和產(chǎn)品可靠性的保障。
銦靶材主要由金屬銦制成,具有質(zhì)軟、延展性好和導(dǎo)電性強(qiáng)的特點(diǎn)。作為稀有金屬,銦在自然界的含量稀少,但其獨(dú)特的物理和化學(xué)性質(zhì)使其成為眾多高科技產(chǎn)品的核心組件。銦靶材廣泛應(yīng)用于航空航天、電子工業(yè)等領(lǐng)域,是制造高性能電子元器件的關(guān)鍵材料。
ITO靶材,即銦錫氧化物靶材,主要由氧化銦(In?O?)和氧化錫(SnO?)組成,其中氧化銦占比高達(dá)90%。ITO靶材因其優(yōu)異的導(dǎo)電性和高透光性,成為液晶顯示器(LCD)、觸摸屏及太陽(yáng)能電池等光電設(shè)備的理想材料。其晶體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,電導(dǎo)率高,確保了設(shè)備的運(yùn)行。