我國傳感器行業(yè)始于五十年代初期,雖起步較早,但直到1986年“七五”開始才正式將傳感器技術(shù)列入國家和重點項目。如今經(jīng)過幾十年的發(fā)展,中國傳感器產(chǎn)業(yè)正處于由傳統(tǒng)型向新型傳感器發(fā)展的關鍵階段。傳感器技術(shù)歷經(jīng)了多年的發(fā)展,其技術(shù)的發(fā)展大體經(jīng)歷了三代。
代是結(jié)構(gòu)型傳感器,它利用結(jié)構(gòu)參量變化來感受和轉(zhuǎn)化信號。結(jié)構(gòu)型傳感器雖屬早期開發(fā)的產(chǎn)品,但近年來由于新材料、新原理、新工藝的相繼應用,在度、可靠性、穩(wěn)定性、靈敏度等方面也有了很大的提高。目前結(jié)構(gòu)型傳感器在工業(yè)自動化、過程檢測與其它等方面仍占有相當大的比重。
高可靠性、寬溫度范圍的傳感器的可靠性直接影響到通訊設備的可靠性,研究高可靠性、寬溫度范圍的傳感器將是的方向。許多新興材料(如陶瓷、納米材料)將很有前途。
向微型化發(fā)展各種控制設備的功能越來越強,要求各個部件的體積越小越好,這就要求發(fā)展新的材料和加工技術(shù)。傳感器微型化可以使得其功能更加強大,控制更加集中,而且可以減少能源消耗。許多新材料的開發(fā)和新工藝的采用可以使這個趨勢更加明顯。
向微功耗和無源化發(fā)展傳感器一般都實現(xiàn)非電量向電量轉(zhuǎn)化,工作時離不開電源。在野外場地或者離開電網(wǎng)的地方,往往就是電池供電或者太陽能供電。開發(fā)微功率傳感器和無源傳感器是必然的方向。這樣既可以節(jié)省能源又可以提高系統(tǒng)壽命。目前低功率的芯片發(fā)展很快,許多廠商研發(fā)的新型芯片功耗是普通傳感器的大約五分之一到十分之一。

