航空航天與國防科技
1. 紅外探測與成像
用途:在紅外焦平面陣列(IRFPA)中作為芯片互連材料(如銦柱倒裝焊),實現(xiàn)探測器芯片與讀出電路的高密度連接。
場景:軍用夜視儀、衛(wèi)星遙感設備、熱成像儀等。
2. 高溫真空器件
應用:在航空航天用真空電子器件(如行波管、磁控管)中作為密封材料或電極鍍膜,利用銦的低蒸氣壓和抗腐蝕特性。
科研與前沿技術
1. 量子計算與超導器件
探索應用:銦薄膜作為超導材料(如 In-Nb 合金),用于量子比特器件的制備,利用其超導電性實現(xiàn)低損耗量子信號傳輸。
2. 柔性電子與可穿戴設備
技術方向:在柔性電路板(FPC)、電子皮膚中作為可拉伸導電薄膜,利用銦的高延展性滿足器件形變需求。
真空系統(tǒng)維護
腔體清潔:每次濺射后及時清理腔體內(nèi)壁及基片臺的銦沉積層(銦延展性強,易粘附在腔體表面,長期積累可能導致短路或影響真空度)。
可用棉簽蘸取乙醇擦拭,或用軟質(zhì)刮刀輕輕刮除(避免損傷腔體涂層)。
真空泵保養(yǎng):定期更換真空泵油(因銦蒸氣可能污染泵油,建議每 200 小時檢查一次),防止油液粘度升高影響抽氣效率。
防護措施
個人防護:操作時佩戴防靜電手套、護目鏡,避免直接接觸銦靶(銦金屬,但粉塵吸入可能刺激呼吸道,需在通風良好環(huán)境下操作)。
防火防爆:銦粉或碎屑屬于可燃固體(引燃溫度約 200℃),需遠離明火,廢棄靶材及碎屑應收集于專用容器中,按危險廢棄物處理。
電磁屏蔽:射頻濺射時需確保設備接地良好,防止電磁輻射對操作人員或周邊儀器的干擾。

