光學領域:用于制造反射率與銀鏡一樣高但不會褪色的鏡,還可用于制造其他光學器件,如濾光片、光通信器件等。
其他領域:可用于制造低熔點合金,如 24%銦和 76%鎵的合金在室溫下為液態(tài),此外,還可用于制造整流器、熱敏電阻和光電導體等電氣組件。
化合物半導體器件
場景:用于制造銦鎵砷(InGaAs)、銦磷(InP)等化合物半導體芯片,廣泛應用于 5G 通信基站、雷達、光纖通信等高頻電子設備。
作用:提升器件的高頻性能和可靠性,是 5G 毫米波芯片的核心材料之一。
濺射時間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實時監(jiān)測薄膜沉積速率,結合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關),控制濺射時間。
靶材利用率:避免過度濺射導致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時需及時更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉靶可提升至 60% 以上。
靶材回收與再利用
回收價值:報廢銦靶(含濺射過程中產生的碎屑、廢膜)可通過化學溶解(如鹽酸溶解)、電解精煉等工藝回收銦金屬(回收率可達 95% 以上),降低生產成本。
環(huán)保要求:回收過程中產生的廢水需處理至重金屬排放標準(如銦離子濃度≤0.1 mg/L),避免環(huán)境污染。

