在實際生產(chǎn)中,ITO靶材通常被加工成圓形或矩形的塊狀,與濺射設(shè)備配合使用。濺射過程中,靶材的質(zhì)量直接影響薄膜的均勻性、附著力和性能。因此,高質(zhì)量的ITO靶材不僅是技術(shù)要求,更是生產(chǎn)效率和產(chǎn)品可靠性的保障。
隨著高科技產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,稀有金屬銦的需求日益增長。銦靶材與ITO靶材作為關(guān)鍵材料,在電子、光電及半導體等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。本文旨在探討銦靶材與ITO靶材的區(qū)別,以及它們在回收技術(shù)、環(huán)保與經(jīng)濟效益方面的差異。
ITO靶材,即銦錫氧化物靶材,主要由氧化銦(In?O?)和氧化錫(SnO?)組成,其中氧化銦占比高達90%。ITO靶材因其優(yōu)異的導電性和高透光性,成為液晶顯示器(LCD)、觸摸屏及太陽能電池等光電設(shè)備的理想材料。其晶體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,電導率高,確保了設(shè)備的運行。
氧化銦是一種寬禁帶半導體,具有良好的光學透明性,而氧化錫的引入則增強了材料的導電性。這種成分結(jié)構(gòu)使得ITO材料在保證高透光率的同時也具有低電阻率,兼具光學和電學性能。ITO靶材的這一獨特特性使其成為透明導電膜的主流材料,尤其適用于要求高透明度的光電設(shè)備和顯示技術(shù)。

