從物理性質(zhì)上看，ITO靶材具有以下幾個(gè)顯著特點(diǎn)：
高透明度：在可見(jiàn)光范圍內(nèi)（波長(zhǎng)400-700納米），ITO薄膜的透光率可高達(dá)90%以上，幾乎與普通玻璃相當(dāng)。
優(yōu)異導(dǎo)電性：其電阻率通常在10??歐姆·厘米的量級(jí)，遠(yuǎn)低于大多數(shù)透明材料。
化學(xué)穩(wěn)定性：在常溫下，ITO對(duì)水、氧氣等環(huán)境因素表現(xiàn)出良好的抗腐蝕能力。
機(jī)械耐久性：ITO薄膜具備一定的硬度和耐磨性，能夠應(yīng)對(duì)日常使用中的輕微刮擦。
這些特性讓ITO靶材在實(shí)際應(yīng)用中游刃有余，尤其是在需要兼顧光學(xué)和電學(xué)性能的場(chǎng)景中。
目前，ITO靶材的制備主要有兩種常見(jiàn)方法：熱壓燒結(jié)法和冷等靜壓法。
熱壓燒結(jié)法
工藝流程：將氧化銦和氧化錫粉末按比例混合后，放入模具，在高溫（1000-1500°C）和高壓（幾十到幾百兆帕）下壓制成型。高溫使粉末顆粒熔融結(jié)合，形成致密的靶材結(jié)構(gòu)。
優(yōu)點(diǎn)：這種方法制備的靶材密度接近理論值（通常超過(guò)99%），晶粒分布均勻，適合高精度鍍膜需求。
缺點(diǎn)：設(shè)備復(fù)雜，能耗高，生產(chǎn)成本較高。
適用場(chǎng)景：高端電子產(chǎn)品，如智能手機(jī)、平板電腦的顯示屏制造。
銦回收具有重要的環(huán)保和經(jīng)濟(jì)效益。通過(guò)回收廢舊靶材中的銦，可以減少對(duì)新資源的開(kāi)采，降低環(huán)境污染，實(shí)現(xiàn)資源的可持續(xù)利用。此外，回收銦還能穩(wěn)定市場(chǎng)供應(yīng)，降低生產(chǎn)成本，促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。
氧化銦是一種寬禁帶半導(dǎo)體，具有良好的光學(xué)透明性，而氧化錫的引入則增強(qiáng)了材料的導(dǎo)電性。這種成分結(jié)構(gòu)使得ITO材料在保證高透光率的同時(shí)也具有低電阻率，兼具光學(xué)和電學(xué)性能。ITO靶材的這一獨(dú)特特性使其成為透明導(dǎo)電膜的主流材料，尤其適用于要求高透明度的光電設(shè)備和顯示技術(shù)。
