ITO靶材回收流程:
1. 收集廢靶材:收集來源:面板廠、鍍膜廠等使用ITO靶材的企業(yè)。
2. 表面處理/預處理 :清洗表面雜質、油污、物理去除殘留膜層
3. 靶材分離:機械切割或分解、分離金屬基板與ITO涂層
4. 濕法冶金回收:用酸(如硝酸、鹽酸等)溶解ITO層、萃取液中回收銦和錫元素
5. 純化與精煉 萃取、沉淀等精細化學手段,獲得高純度的銦、錫化合物
6. 再利用 提純后的銦、錫用于制備新ITO靶材或其他用途
氧化銦錫(ITO)靶材廣泛應用于平板顯示器和太陽能電池的生產,在ITO目標使用了一段時間后,將其替換為新的目標,用過的ITO靶含有大量的銦,可以通過各種工藝回收。
從用過的ITO靶材中回收氧化銦包括幾個步驟,包括溶解、沉淀和焙燒。首先將目標材料溶解在鹽酸中,鹽酸溶解氧化銦,然后加入氫氧化鈉從酸性溶液中析出氧化銦。生成的氫氧化銦然后在高溫下焙燒得到氧化銦。
從用過的ITO靶材中回收氧化銦的另一種方法是使用離子交換樹脂,離子交換樹脂用于選擇性地從酸性溶液中吸附銦,然后用酸性溶液將銦從樹脂中洗脫出來,并通過焙燒得到氧化銦。

