ITO靶材主流回收技術(shù)：

機(jī)械物理分離：適合較厚靶層，回收效率高。

濕法化學(xué)回收：利用酸堿進(jìn)行溶解分離，適合大批量廢靶材。

熱處理工藝：部分回收方案采用高溫分離，能耗較大。

氧化銦錫(ITO)靶材廣泛應(yīng)用于平板顯示器和太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)，在ITO目標(biāo)使用了一段時(shí)間后，將其替換為新的目標(biāo)，用過(guò)的ITO靶含有大量的銦，可以通過(guò)各種工藝回收。

從用過(guò)的ITO靶材中回收氧化銦的另一種方法是使用離子交換樹(shù)脂，離子交換樹(shù)脂用于選擇性地從酸性溶液中吸附銦，然后用酸性溶液將銦從樹(shù)脂中洗脫出來(lái)，并通過(guò)焙燒得到氧化銦。

從電子廢物和廢ITO靶材等廢物來(lái)源中回收氧化銦是銦回收的一個(gè)重要方面。從這些廢源中回收氧化銦可以通過(guò)各種工藝實(shí)現(xiàn)，包括化學(xué)處理、溶劑萃取和離子交換，回收的氧化銦可用于生產(chǎn)各種半導(dǎo)體器件，從而減少對(duì)新銦資源的需求，并將銦開(kāi)采對(duì)環(huán)境的影響降至。