ITO靶材主流回收技術(shù)
機(jī)械物理分離:適合較厚靶層,回收效率高。
濕法化學(xué)回收:利用酸堿進(jìn)行溶解分離,適合大批量廢靶材。
熱處理工藝:部分回收方案采用高溫分離,能耗較大。
ITO靶材回收注意事項(xiàng):
措施:處理酸堿和廢液時(shí)需注意和環(huán)保。
環(huán)保合規(guī):廢液和殘?jiān)柽_(dá)標(biāo)處理,避免二次污染。
回收效率:合理選擇工藝,提高銦、錫的回收率和純度。
銦在半導(dǎo)體、液晶顯示器等電子器件的生產(chǎn)中發(fā)揮著重要作用。銦靶材通常用于物相沉積(PVD)工藝中,制造薄膜。然而,銦靶材的成本高昂,且供應(yīng)有限,因此從廢棄或用過的靶材中回收銦變得至關(guān)重要。
銦靶材回收的主要任務(wù)是將銦從靶材中的其他金屬和材料中分離出來,并將其提純至高純度?;厥辗椒òɑ鸱?、濕法和電化學(xué)法。
火法冶金工藝使用高溫熔煉和精煉來回收銦。這種方法適用于大規(guī)模回收,但存在一些缺點(diǎn),如產(chǎn)生危險(xiǎn)廢物、高能耗,以及可能損失有價(jià)值的銦。
濕法冶金工藝?yán)没瘜W(xué)浸出劑將銦從靶材中溶解出來。這種方法比火法更環(huán)保,適用于從成分復(fù)雜的靶材中回收銦。然而,這一過程可能較為復(fù)雜,需要使用危險(xiǎn)化學(xué)品。
電化學(xué)過程通過電流將銦從靶材中溶解和回收。這種方法也比火法更環(huán)保,可以回收較高純度的銦。但這一過程可能較為復(fù)雜,需要專門的設(shè)備和專業(yè)知識(shí)。