ITO靶材回收的必要性
1. 資源稀缺:銦為稀有金屬,資源有限,價(jià)格昂貴。
2. 成本控制:回收廢舊ITO靶材可降低企業(yè)原材料采購成本。
3. 環(huán)保要求:減少廢棄物排放,符合綠色生產(chǎn)理念。
ITO靶材主流回收技術(shù)
機(jī)械物理分離:適合較厚靶層,回收效率高。
濕法化學(xué)回收:利用酸堿進(jìn)行溶解分離,適合大批量廢靶材。
熱處理工藝:部分回收方案采用高溫分離,能耗較大。
銦在半導(dǎo)體、液晶顯示器等電子器件的生產(chǎn)中發(fā)揮著重要作用。銦靶材通常用于物相沉積(PVD)工藝中,制造薄膜。然而,銦靶材的成本高昂,且供應(yīng)有限,因此從廢棄或用過的靶材中回收銦變得至關(guān)重要。
銦元素在工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮著舉足輕重的作用。作為稀有金屬,銦以其獨(dú)特的性質(zhì)被廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。其中,銦錠因其出色的光滲透性和導(dǎo)電性,成為生產(chǎn)ITO靶材的主要原料,這一應(yīng)用占據(jù)了全球銦消費(fèi)量的70%,是液晶顯示器和平板屏幕生產(chǎn)的關(guān)鍵。