物理分離法中的機械剝離技術，是通過破碎、篩分和浮選等方法，將ITO涂層與玻璃基板進行分離。隨后，再結合化學處理對分離出的ITO涂層進行銦的提取。這種方法主要適用于LCD面板的回收，但需注意，其純度可能相對較低。
ITO靶粉回收過程通常包括以下幾個環(huán)節(jié)：
1.收集與分類。首先需要將生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢靶材、切削碎屑、鍍膜殘渣等進行分類收集。不同類型的廢料可能需要采用不同的處理方式，因此分類是確保后續(xù)處理效率的基礎。
2.預處理。廢料中可能含有油脂、灰塵或其他雜質，需通過清洗、烘干等方式進行初步處理。對于塊狀廢料，可能需要通過機械破碎、研磨等方式將其轉化為粉末狀，以便于后續(xù)化學處理。
3.溶解與浸出。將預處理后的靶粉與酸性溶液（如鹽酸或硫酸）反應，使金屬成分溶解到溶液中。這一步驟需要控制溫度、濃度和反應時間，以提高金屬的浸出率。
4.分離與純化。通過化學沉淀、溶劑萃取或離子交換等方法，將溶液中的銦與其他金屬（如錫、鐵等）分離開來。隨后，通過進一步提純，獲得高純度的銦化合物。
5.還原與加工。將純化后的銦化合物通過電解或化學還原法轉化為金屬銦，并可進一步加工成符合生產(chǎn)要求的ITO靶材。
ITO靶粉回收雖具有較高價值，但實際操作中需注意以下幾點：
1.防護?；厥者^程涉及強酸、有機溶劑等化學品，操作人員需穿戴防護裝備，避免直接接觸。工作場所應保持良好的通風條件，防止有害氣體積聚。
2.環(huán)境保護?；厥者^程中產(chǎn)生的廢水、廢渣需妥善處理，避免對環(huán)境造成污染。酸性廢液應中和后再排放，有機溶劑應盡量回收利用或進行無害化處理。
3.質量控制?；厥盏玫降慕饘巽熜杞?jīng)過嚴格檢測，確保其純度符合再次生產(chǎn)的要求。雜質含量過高會影響終產(chǎn)品的性能。
4.經(jīng)濟性分析?；厥枕椖啃杈C合考慮成本與收益，包括原材料收集、化學品消耗、能源使用及設備折舊等因素。企業(yè)可根據(jù)自身情況選擇合適的回收規(guī)模和技術路線。
隨著電子行業(yè)的發(fā)展，ITO靶材的需求量逐年增長，推動了對廢靶材回收的重視。目前，一些大型電子制造企業(yè)已開始建立自身的回收體系，或與專業(yè)回收公司合作，實現(xiàn)生產(chǎn)廢料的循環(huán)利用。技術進步也使得回收效率和金屬回收率不斷提高，進一步降低了生產(chǎn)成本。
