銦在半導(dǎo)體、液晶顯示器等電子器件的生產(chǎn)中發(fā)揮著重要作用。銦靶材通常用于物相沉積（PVD）工藝中，制造薄膜。然而，銦靶材的成本高昂，且供應(yīng)有限，因此從廢棄或用過的靶材中回收銦變得至關(guān)重要。
銦靶材回收是利用銦資源的重要步驟。盡管有多種回收方法，但分離和提純銦仍是關(guān)鍵挑戰(zhàn)。應(yīng)繼續(xù)努力提高回收效率和可持續(xù)性，以確保銦資源的長期可獲得性。
ITO靶粉回收過程通常包括以下幾個環(huán)節(jié)：
1.收集與分類。首先需要將生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢靶材、切削碎屑、鍍膜殘渣等進行分類收集。不同類型的廢料可能需要采用不同的處理方式，因此分類是確保后續(xù)處理效率的基礎(chǔ)。
2.預(yù)處理。廢料中可能含有油脂、灰塵或其他雜質(zhì)，需通過清洗、烘干等方式進行初步處理。對于塊狀廢料，可能需要通過機械破碎、研磨等方式將其轉(zhuǎn)化為粉末狀，以便于后續(xù)化學(xué)處理。
3.溶解與浸出。將預(yù)處理后的靶粉與酸性溶液（如鹽酸或硫酸）反應(yīng)，使金屬成分溶解到溶液中。這一步驟需要控制溫度、濃度和反應(yīng)時間，以提高金屬的浸出率。
4.分離與純化。通過化學(xué)沉淀、溶劑萃取或離子交換等方法，將溶液中的銦與其他金屬（如錫、鐵等）分離開來。隨后，通過進一步提純，獲得高純度的銦化合物。
5.還原與加工。將純化后的銦化合物通過電解或化學(xué)還原法轉(zhuǎn)化為金屬銦，并可進一步加工成符合生產(chǎn)要求的ITO靶材。
然而，回收產(chǎn)業(yè)仍面臨一些挑戰(zhàn)。例如，廢料來源分散，收集和運輸成本較高；一些中小型企業(yè)缺乏回收技術(shù)和資金支持；回收過程中的環(huán)保要求日益嚴格，企業(yè)需投入更多資源滿足相關(guān)標(biāo)準。
