載板電鍍是先進封裝載板(如 IC 載板、扇出型封裝載板等)制造中的核心工藝,其質量直接決定載板的電氣性能、可靠性及封裝良率。由于載板需實現(xiàn)高密度互連(HDI)、超細線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)及承載芯片的高可靠性要求,其電鍍工藝及質量檢測標準遠高于傳統(tǒng) PCB,核心圍繞 “鍍層均勻性、致密度、附著力、純度” 四大維度展開
鍍層微觀質量:避免內部缺陷影響可靠性
載板鍍層的致密度、純度直接影響電氣性能(如電阻、遷移風險)和耐腐蝕性。
孔隙率:
標準:銅鍍層孔隙率≤1 個 /cm2(用酸性硫酸銅溶液測試,孔隙會析出銅粉);鎳層孔隙率≤0.5 個 /cm2;
檢測工具:孔隙率測試儀、SEM(觀察微觀孔洞)。
晶粒結構:
標準:銅鍍層晶粒均勻,平均晶粒尺寸 50-200nm(晶粒過粗易導致鍍層脆化,過細易產(chǎn)生應力);
檢測工具:透射電鏡(TEM)、X 射線衍射儀(XRD)。
雜質含量:
標準:高純度銅鍍層(99.99% 以上),雜質(如 Fe、Zn、Pb)總含量≤50ppm;鎳鍍層雜質總含量≤100ppm;
檢測工具:電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)。
載板電鍍檢測需嚴格遵循標準,確保一致性和可靠性,常用標準包括:
IPC 標準:
IPC-6012DS:《剛性印制板的鑒定與性能規(guī)范(載板專用補充版)》,明確載板鍍層厚度、附著力要求;
IPC-TM-650:《印制板測試方法手冊》,包含鍍層厚度、附著力、孔隙率等測試方法。
JEDEC 標準:
JEDEC JESD22-A108:《集成電路封裝的電遷移測試》;
JEDEC JESD22-B103:《高溫存儲測試》,用于評估鍍層長期耐熱性。
企業(yè)定制標準:
主流封裝廠(如臺積電、長電科技)會在上述標準基礎上提出更嚴格要求(如凸點高度偏差≤±5%),需根據(jù)具體訂單調整檢測閾值。
生產(chǎn)效率
水平線生產(chǎn)速度1.5-6.0m/min,具體根據(jù)基材厚度,小孔徑,盲孔,縱橫比等參數(shù)調整,整個流程時間在4-10min;
導通能力
No ICD,IST測試(百萬通孔測試) CAF測試(小間距CAF改善)
