載板電鍍是先進(jìn)封裝載板(如 IC 載板、扇出型封裝載板等)制造中的核心工藝,其質(zhì)量直接決定載板的電氣性能、可靠性及封裝良率。由于載板需實(shí)現(xiàn)高密度互連(HDI)、超細(xì)線路 / 焊盤(pán)(線寬 / 線距常<20μm)及承載芯片的高可靠性要求,其電鍍工藝及質(zhì)量檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)遠(yuǎn)高于傳統(tǒng) PCB,核心圍繞 “鍍層均勻性、致密度、附著力、純度” 四大維度展開(kāi)
鍍層幾何參數(shù):控制是基礎(chǔ)
載板的超細(xì)線路 / 凸點(diǎn)對(duì)幾何尺寸要求,偏差會(huì)直接導(dǎo)致封裝失效(如鍵合不良、短路)。
檢測(cè)項(xiàng)目 核心標(biāo)準(zhǔn)要求 檢測(cè)工具
鍍層厚度 - 圖形銅:厚度偏差≤±10%(如設(shè)計(jì) 10μm,實(shí)際需在 9-11μm);
- 鎳層:2-5μm,偏差≤±0.5μm;
- 金層:0.05-0.15μm(ENEPIG),偏差≤±20% X 射線熒光測(cè)厚儀(XRF)、金相顯微鏡
凸點(diǎn)尺寸(Bump) - 直徑偏差≤±5%(如設(shè)計(jì) 50μm,實(shí)際 47.5-52.5μm);
- 高度偏差≤±8%;
- 同一載板凸點(diǎn)高度差≤5μm 激光共聚焦顯微鏡、3D 輪廓儀
線路 / 焊盤(pán)精度 - 線寬偏差≤±10%(如設(shè)計(jì) 15μm,實(shí)際 13.5-16.5μm);
- 焊盤(pán)直徑偏差≤±5%;
- 線路邊緣粗糙度(Ra)≤1μm
載板電鍍與傳統(tǒng) PCB 電鍍的核心差異
載板電鍍的標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)苛性遠(yuǎn)高于傳統(tǒng) PCB,核心差異體現(xiàn)在:
對(duì)比維度 傳統(tǒng) PCB 電鍍 載板電鍍
線寬 / 焊盤(pán)尺寸 通?!?0μm 常<20μm(超細(xì)線路)
鍍層厚度偏差 ≤±15% ≤±10%(部分場(chǎng)景≤±8%)
附著力要求 ≥0.5N/mm(銅鍍層) ≥0.8N/mm(銅鍍層)
雜質(zhì)含量 總雜質(zhì)≤100ppm 總雜質(zhì)≤50ppm(高純度)
可靠性測(cè)試時(shí)長(zhǎng) 濕熱試驗(yàn) 500h 濕熱試驗(yàn) 1000h
相比黑影/日蝕,黑孔,導(dǎo)電膜等其他空金屬化工藝,石墨烯孔金屬化工藝采用二維材料高導(dǎo)電-石墨烯材料作為導(dǎo)電材料,高導(dǎo)電,超薄,吸附性強(qiáng);物理性吸附;
石墨烯超低固含量0.01%-0.5%,徹底避免黑影,日蝕,黑孔等工藝常見(jiàn)的ICD異常問(wèn)題;
在導(dǎo)通測(cè)試中,阻值變化為1.43%,IPC標(biāo)準(zhǔn)≤10%;在極限熱沖擊測(cè)試中,沉銅27次,石墨烯孔金屬化工藝31次;
