載板電鍍是先進封裝載板(如 IC 載板、扇出型封裝載板等)制造中的核心工藝,其質量直接決定載板的電氣性能、可靠性及封裝良率。由于載板需實現高密度互連(HDI)、超細線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)及承載芯片的高可靠性要求,其電鍍工藝及質量檢測標準遠高于傳統(tǒng) PCB,核心圍繞 “鍍層均勻性、致密度、附著力、純度” 四大維度展開
鍍層幾何參數:控制是基礎
載板的超細線路 / 凸點對幾何尺寸要求,偏差會直接導致封裝失效(如鍵合不良、短路)。
檢測項目 核心標準要求 檢測工具
鍍層厚度 - 圖形銅:厚度偏差≤±10%(如設計 10μm,實際需在 9-11μm);
- 鎳層:2-5μm,偏差≤±0.5μm;
- 金層:0.05-0.15μm(ENEPIG),偏差≤±20% X 射線熒光測厚儀(XRF)、金相顯微鏡
凸點尺寸(Bump) - 直徑偏差≤±5%(如設計 50μm,實際 47.5-52.5μm);
- 高度偏差≤±8%;
- 同一載板凸點高度差≤5μm 激光共聚焦顯微鏡、3D 輪廓儀
線路 / 焊盤精度 - 線寬偏差≤±10%(如設計 15μm,實際 13.5-16.5μm);
- 焊盤直徑偏差≤±5%;
- 線路邊緣粗糙度(Ra)≤1μm
載板電鍍與傳統(tǒng) PCB 電鍍的核心差異
載板電鍍的標準嚴苛性遠高于傳統(tǒng) PCB,核心差異體現在:
對比維度 傳統(tǒng) PCB 電鍍 載板電鍍
線寬 / 焊盤尺寸 通常≥50μm 常<20μm(超細線路)
鍍層厚度偏差 ≤±15% ≤±10%(部分場景≤±8%)
附著力要求 ≥0.5N/mm(銅鍍層) ≥0.8N/mm(銅鍍層)
雜質含量 總雜質≤100ppm 總雜質≤50ppm(高純度)
可靠性測試時長 濕熱試驗 500h 濕熱試驗 1000h
相比黑影/日蝕,黑孔,導電膜等其他空金屬化工藝,石墨烯孔金屬化工藝采用二維材料高導電-石墨烯材料作為導電材料,高導電,超薄,吸附性強;物理性吸附;
石墨烯超低固含量0.01%-0.5%,徹底避免黑影,日蝕,黑孔等工藝常見的ICD異常問題;
在導通測試中,阻值變化為1.43%,IPC標準≤10%;在極限熱沖擊測試中,沉銅27次,石墨烯孔金屬化工藝31次;