鍍膜臺階玻璃是一種在“臺階結(jié)構(gòu)”表面實施光學(xué)鍍膜的特殊玻璃元件，既保留臺階本身的定位、密封、雜散光抑制功能，又通過膜層賦予其減反射、濾光、高反、分光等附加性能，廣泛應(yīng)用于激光諧振腔、真空窗口、航空航天光學(xué)、生物成像等高端場景。以下從結(jié)構(gòu)、鍍膜工藝、性能優(yōu)勢和典型應(yīng)用四方面進行介紹。

1. 臺階結(jié)構(gòu)特點多臺階一次性加工：利用 CNC 或成型模具在玻璃表面加工出 2–10 級臺階，每級高度差可控制在 0.05 mm，兼顧定位與光束管理。

大深寬比：臺階深寬比可達 1:1，利于多片堆疊錯位鍍膜，節(jié)省治具空間并提升產(chǎn)能。

高精度面形：經(jīng)拋光后表面平整度 <λ/10（λ=632.8 nm），平行度 <10″，滿足干涉級光學(xué)要求。

2. 鍍膜工藝低溫硬膜技術(shù)：采用離子束濺射（IBS）或磁控濺射，在 80–200 ℃完成鍍制，避免熱變形，膜層致密。

多層臺階覆蓋：通過工件自轉(zhuǎn)+靶材角度優(yōu)化，實現(xiàn)臺階側(cè)面與根部厚度均勻性 ≥95%，解決傳統(tǒng)蒸發(fā)鍍“陰影”缺陷。

可選膜系：

減反射膜：單面 Ravg<0.5%，雙面 Ravg<0.3%，提升透射激光功率。

高反膜：1064 nm 處反射率 >99.9%，用于激光諧振腔尾鏡。

長/短波通濾光膜：陡度 <1%，隔離泵浦光與信號光。

金屬化膜：Cr-Au 或 Ti-Pt-Au，可焊接封裝，氣密性 <1×10?? Pa·m3/s。