在回收含銦靶粉時(shí),需特別注意以下幾點(diǎn):
1.儲(chǔ)存條件:廢靶粉應(yīng)密封保存于干燥、無(wú)酸堿性氣體侵蝕的環(huán)境中,防止氧化或變質(zhì)。
2.防護(hù):操作人員需佩戴防護(hù)用具,避免直接接觸化學(xué)試劑或吸入粉塵。
3.廢水廢氣處理:回收過(guò)程中產(chǎn)生的廢液和氣體應(yīng)經(jīng)過(guò)妥善處理,達(dá)標(biāo)后方可排放。
4.設(shè)備維護(hù):定期檢查回收設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),確保工藝流程的穩(wěn)定性和效率。
ITO靶材回收是一個(gè)專(zhuān)業(yè)且復(fù)雜的過(guò)程,通常包括以下幾個(gè)步驟:
首先是收集和分類(lèi)。不同來(lái)源的ITO廢料需要按照其形態(tài)和成分進(jìn)行分類(lèi),這直接影響后續(xù)的處理方式和回收效率。來(lái)自生產(chǎn)過(guò)程的邊角料與使用后的廢舊靶材在處理上會(huì)有所區(qū)別。
接下來(lái)是預(yù)處理階段。這一環(huán)節(jié)包括去除廢料表面的污染物、破碎和研磨等步驟,目的是使物料達(dá)到適合化學(xué)處理的粒度和純度要求。預(yù)處理的質(zhì)量直接關(guān)系到后續(xù)金屬回收的效率和純度。
然后是化學(xué)處理過(guò)程。通過(guò)酸溶等方法將ITO廢料中的銦和錫等金屬轉(zhuǎn)入溶液,再利用沉淀、萃取或電解等分離技術(shù),將不同的金屬成分分離開(kāi)來(lái)。這一步驟技術(shù)要求較高,需要控制反應(yīng)條件以確保金屬回收率和產(chǎn)品純度。
是精煉和產(chǎn)品制備?;厥盏玫降慕饘俳?jīng)過(guò)進(jìn)一步提純后,可以重新用于生產(chǎn)新的ITO靶材或其他含銦產(chǎn)品,完成資源的循環(huán)利用。
ITO靶材回收技術(shù)的核心在于如何、經(jīng)濟(jì)地從復(fù)雜混合物中提取高純度的金屬。不同形態(tài)的廢料可能需要采用不同的回收工藝。
對(duì)于濺射后的廢舊靶材,由于表面結(jié)構(gòu)發(fā)生變化,且可能含有其他雜質(zhì),需要特別設(shè)計(jì)的處理流程。而生產(chǎn)過(guò)程中的邊角料通常成分相對(duì)單一,處理起來(lái)更為簡(jiǎn)便。
現(xiàn)代回收技術(shù)越來(lái)越注重環(huán)境友好性,努力減少化學(xué)試劑的使用量,提高試劑的循環(huán)利用率,同時(shí)妥善處理過(guò)程中產(chǎn)生的廢水、廢氣,確保整個(gè)回收過(guò)程符合環(huán)保要求。
含銦靶粉主要來(lái)源于工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中使用的銦靶材。這些靶材在濺射工藝中逐漸磨損,形成細(xì)小的粉末。這些粉末雖然不能再用于原有的生產(chǎn)工藝,但仍然含有較高比例的銦元素。由于其化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,回收過(guò)程中需要專(zhuān)業(yè)的技術(shù)手段來(lái)提取和純化。

