工藝流程
前處理:包括對載板進行開槽、打通孔等操作,然后將載板貼在承載膠上,植入芯片和金屬塊,進行次塑封,形成塑封層;之后拆除承載膠,對一次塑封件另一面進行第二次塑封,形成第二塑封層。
電鍍準備:在塑封層和第二塑封層上打盲孔,以露出芯片的 IO 接口和金屬塊,然后對盲孔進行真空濺射,并在二次塑封件的上、下兩面建立種子層。
電鍍沉積:通過電解或化學沉積方式,讓金屬離子在載板表面沉積形成所需的鍍層,如銅、鎳、金、錫等鍍層,在電鍍過程中需要控制電場、電鍍液成分、溫度、電流密度等參數,以確保鍍層的質量和性能。
后處理:電鍍完成后,進行清洗、烘干等操作,去除表面殘留的電鍍液和雜質,然后對鍍層進行檢測,如檢測鍍層厚度、附著力、孔隙率等,確保產品質量符合要求。
電子載板電鍍加工主流工藝類型
電解電鍍:適用于大批量、高厚度鍍層需求(如銅鍍層≥3μm),成本較低,效率高。
化學鍍:無需通電,鍍層均勻性好,適配復雜結構載板(如盲孔、細線路),常用于打底鍍層。
脈沖電鍍:減少鍍層晶粒大小,提升硬度和耐磨性,適配高頻、高功率電子載板。
通訊載板電鍍加工關鍵技術
電鍍液配方優(yōu)化:為了實現高精度的電鍍效果,需要針對不同的鍍層和工藝要求,優(yōu)化電鍍液配方。例如,銅鍍液中銅離子濃度、硫酸濃度以及添加劑的種類和含量等都需要控制,以保證鍍層的均勻性、致密度和附著力。
添加劑控制:添加劑在通訊載板電鍍中起著關鍵作用,通過控制抑制劑、光亮劑和整平劑等添加劑的濃度和比例,可以實現超細線路的均勻電鍍,避免出現鍍層橋連、空洞等缺陷。
設備與工藝參數調控:先進的電鍍設備能夠控制電場、電流密度、溫度、時間等參數,確保電鍍過程的穩(wěn)定性和一致性。例如,在脈沖電鍍中,通過合理設置脈沖參數,可以改善鍍層的結晶結構,提高鍍層的性能。
半加成工藝載板電鍍是一種用于制造高精度電子載板的工藝方法,在半導體封裝等領域應用廣泛。以下是關于它的詳細介紹:
工藝原理:半加成法(SAP)的核心是通過 “逐步沉積銅層” 形成電路。先在絕緣基板表面制備超薄導電層,即種子層,再通過光刻技術定義線路圖形,對圖形區(qū)域電鍍加厚銅層,去除多余部分后形成完整電路。改良型半加成法(mSAP)則是在基板上預先貼合 3-9μm 的超薄低輪廓銅箔作為基銅,再進行后續(xù)操作。
工藝流程
基材準備:使用表面平整的超薄銅箔基板或無銅基材,如 1-2μm 厚銅層的基板或 ABF 薄膜等。
化學沉銅:通過化學沉積在基材表面形成 0.3-0.8μm 的薄銅層,作為導電基底,即種子層。
圖形電鍍銅:對露出的種子層區(qū)域進行電鍍加厚,使線路達到設計厚度,通常至 5-15μm,形成導線主體。
去膠與蝕刻:移除光刻膠或干膜,然后蝕刻掉未被電鍍覆蓋的薄種子層銅,由于種子層厚度極薄,蝕刻側蝕極小。
表面處理:進行沉金、OSP、沉錫等表面處理,以滿足后續(xù)封裝和焊接等工藝的要求。
