IC 載板電鍍加工是半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的核心工藝,專為 IC 載板(如 ABF 載板、BT 載板)沉積高精度金屬鍍層,核心作用是實(shí)現(xiàn)芯片與基板的可靠電連接、提升散熱與抗腐蝕性能。
主流鍍層類型及用途
銅鍍層:核心導(dǎo)電層,用于線路互聯(lián),厚度通常 1-5μm,要求高導(dǎo)電性和附著力。
鎳鍍層:中間阻擋層,防止銅擴(kuò)散,厚度 0.5-2μm,提升后續(xù)鍍層結(jié)合力。
金鍍層:表面焊接 / 鍵合層,用于芯片鍵合或引腳焊接,厚度 0.1-1μm,分硬金(耐磨)、軟金(易鍵合)。
錫鍍層:低成本焊接層,替代部分金鍍層,厚度 1-3μm,要求無針孔、可焊性好。
工藝流程
前處理:包括對載板進(jìn)行開槽、打通孔等操作,然后將載板貼在承載膠上,植入芯片和金屬塊,進(jìn)行次塑封,形成塑封層;之后拆除承載膠,對一次塑封件另一面進(jìn)行第二次塑封,形成第二塑封層。
電鍍準(zhǔn)備:在塑封層和第二塑封層上打盲孔,以露出芯片的 IO 接口和金屬塊,然后對盲孔進(jìn)行真空濺射,并在二次塑封件的上、下兩面建立種子層。
電鍍沉積:通過電解或化學(xué)沉積方式,讓金屬離子在載板表面沉積形成所需的鍍層,如銅、鎳、金、錫等鍍層,在電鍍過程中需要控制電場、電鍍液成分、溫度、電流密度等參數(shù),以確保鍍層的質(zhì)量和性能。
后處理:電鍍完成后,進(jìn)行清洗、烘干等操作,去除表面殘留的電鍍液和雜質(zhì),然后對鍍層進(jìn)行檢測,如檢測鍍層厚度、附著力、孔隙率等,確保產(chǎn)品質(zhì)量符合要求。
通訊載板電鍍加工常見鍍層類型及作用
銅鍍層:是通訊載板中最主要的導(dǎo)電層,用于線路互聯(lián),其厚度通常根據(jù)具體需求在 1-20μm 之間,要求具有高導(dǎo)電性、良好的附著力和抗電遷移性能,以保證信號的傳輸和載板的長期可靠性。
鎳鍍層:常作為中間阻擋層,防止銅擴(kuò)散,同時(shí)提高后續(xù)鍍層的結(jié)合力,厚度一般在 0.5-2μm。
金鍍層:主要用于表面焊接 / 鍵合層,如芯片鍵合或引腳焊接,具有良好的導(dǎo)電性、抗腐蝕性和可焊性,厚度通常在 0.1-1μm,可分為硬金和軟金,硬金耐磨性好,軟金易鍵合。
錫鍍層:是一種低成本的焊接層,可替代部分金鍍層,用于載板的表面焊接,厚度一般在 1-3μm,要求無針孔、可焊性好。
