IC 載板電鍍加工是半導體封裝領(lǐng)域的核心工藝,專為 IC 載板(如 ABF 載板、BT 載板)沉積高精度金屬鍍層,核心作用是實現(xiàn)芯片與基板的可靠電連接、提升散熱與抗腐蝕性能。
關(guān)鍵成本與質(zhì)量控制點
成本核心:金鹽、銅鹽等貴金屬原料占比高(約占原材料成本的 30%-40%),細線路加工導致的良率損耗會顯著推高單位成本。
質(zhì)量控制:需檢測鍍層厚度(XRF 檢測)、附著力(膠帶測試)、耐腐蝕性(鹽霧測試),以及線路完整性(AOI 檢測)。
關(guān)鍵技術(shù)
電鍍液配方:例如酸性銅盲孔填充電鍍液通常為高濃度的銅(200g/L 至 250g/L 硫酸銅)和較低濃度的酸(約 50g/L 硫酸),并添加抑制劑、光亮劑和整平劑等有機添加劑,以控制電鍍速率,獲得良好的填充效果和物理特性。
添加劑控制:通過控制添加劑的濃度和比例,利用抑制劑、光亮劑和整平劑的不同作用,實現(xiàn)盲孔的自下而上填充,避免大凹陷、敷形填充等問題,同時保證鍍層的均勻性和表面質(zhì)量。
通訊載板電鍍加工工藝流程
前處理:包括對載板進行激光鉆微導通孔、去鉆污等操作,然后用化學鍍銅或碳直接金屬化工藝等進行初級金屬化,形成一層薄的導電晶種層,為后續(xù)電鍍做準備。
圖形電鍍:在經(jīng)過前處理的載板上,通過光刻技術(shù)形成圖形,然后進行電鍍,在線路 / 焊盤區(qū)域電鍍厚銅,通常厚度在 5-20μm,以實現(xiàn)電流傳輸與芯片鍵合支撐。
表面處理電鍍:根據(jù)需求在載板表面電鍍鎳、鈀、金等鍍層,如采用 ENEPIG/ENIG 工藝,提升焊盤的抗氧化性與鍵合可靠性。
后處理:電鍍完成后,進行清洗、烘干等操作,去除表面殘留的電鍍液和雜質(zhì),然后對鍍層進行檢測,如檢測鍍層厚度、附著力、孔隙率等,確保產(chǎn)品質(zhì)量符合要求。
