核心工藝特點(diǎn)
鍍層材質(zhì)以銅、鎳、金、錫為主,適配不同電子場(chǎng)景需求。
對(duì)鍍層均勻性、厚度精度要求,通常需控制在微米級(jí)。
需結(jié)合載板材質(zhì)(如陶瓷、樹(shù)脂、硅)定制前處理和電鍍參數(shù)。
主要應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體封裝載板:實(shí)現(xiàn)芯片與基板的電連接,提升散熱效率。
PCB 高頻載板:增強(qiáng)信號(hào)傳輸穩(wěn)定性,降低損耗。
精密電子載板:提高表面耐磨性和抗腐蝕能力,延長(zhǎng)使用壽命。
面板級(jí)加工:扇出型封裝常采用面板級(jí)封裝(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板級(jí)電鍍?cè)O(shè)備可加工尺寸高達(dá) 515x510 毫米的面板,相比傳統(tǒng)晶圓級(jí)封裝,能提高生產(chǎn)效率,降低成本。
高精度要求:需滿(mǎn)足高密度互連(HDI)、超細(xì)線路 / 焊盤(pán)(線寬 / 線距常<20μm)的要求,對(duì)鍍層均勻性、致密度、附著力、純度等方面要求,例如銅鍍層孔隙率需≤1 個(gè) /cm2。
復(fù)雜結(jié)構(gòu)處理:對(duì)于埋入式扇出型封裝結(jié)構(gòu),可能存在深寬比較大的通孔,電鍍時(shí)需要特殊工藝處理,以避免產(chǎn)生空洞等缺陷。
通訊載板電鍍加工工藝流程
前處理:包括對(duì)載板進(jìn)行激光鉆微導(dǎo)通孔、去鉆污等操作,然后用化學(xué)鍍銅或碳直接金屬化工藝等進(jìn)行初級(jí)金屬化,形成一層薄的導(dǎo)電晶種層,為后續(xù)電鍍做準(zhǔn)備。
圖形電鍍:在經(jīng)過(guò)前處理的載板上,通過(guò)光刻技術(shù)形成圖形,然后進(jìn)行電鍍,在線路 / 焊盤(pán)區(qū)域電鍍厚銅,通常厚度在 5-20μm,以實(shí)現(xiàn)電流傳輸與芯片鍵合支撐。
表面處理電鍍:根據(jù)需求在載板表面電鍍鎳、鈀、金等鍍層,如采用 ENEPIG/ENIG 工藝,提升焊盤(pán)的抗氧化性與鍵合可靠性。
后處理:電鍍完成后,進(jìn)行清洗、烘干等操作,去除表面殘留的電鍍液和雜質(zhì),然后對(duì)鍍層進(jìn)行檢測(cè),如檢測(cè)鍍層厚度、附著力、孔隙率等,確保產(chǎn)品質(zhì)量符合要求。
