主流鍍層類型及用途
銅鍍層:核心導(dǎo)電層,用于線路互聯(lián),厚度通常 1-5μm,要求高導(dǎo)電性和附著力。
鎳鍍層:中間阻擋層,防止銅擴(kuò)散,厚度 0.5-2μm,提升后續(xù)鍍層結(jié)合力。
金鍍層:表面焊接 / 鍵合層,用于芯片鍵合或引腳焊接,厚度 0.1-1μm,分硬金(耐磨)、軟金(易鍵合)。
錫鍍層:低成本焊接層,替代部分金鍍層,厚度 1-3μm,要求無針孔、可焊性好。
關(guān)鍵成本與質(zhì)量控制點(diǎn)
成本核心:金鹽、銅鹽等貴金屬原料占比高(約占原材料成本的 30%-40%),細(xì)線路加工導(dǎo)致的良率損耗會顯著推高單位成本。
質(zhì)量控制:需檢測鍍層厚度(XRF 檢測)、附著力(膠帶測試)、耐腐蝕性(鹽霧測試),以及線路完整性(AOI 檢測)。
面板級加工:扇出型封裝常采用面板級封裝(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板級電鍍設(shè)備可加工尺寸高達(dá) 515x510 毫米的面板,相比傳統(tǒng)晶圓級封裝,能提高生產(chǎn)效率,降低成本。
高精度要求:需滿足高密度互連(HDI)、超細(xì)線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)的要求,對鍍層均勻性、致密度、附著力、純度等方面要求,例如銅鍍層孔隙率需≤1 個 /cm2。
復(fù)雜結(jié)構(gòu)處理:對于埋入式扇出型封裝結(jié)構(gòu),可能存在深寬比較大的通孔,電鍍時需要特殊工藝處理,以避免產(chǎn)生空洞等缺陷。
電子載板電鍍加工主流工藝類型
電解電鍍:適用于大批量、高厚度鍍層需求(如銅鍍層≥3μm),成本較低,效率高。
化學(xué)鍍:無需通電,鍍層均勻性好,適配復(fù)雜結(jié)構(gòu)載板(如盲孔、細(xì)線路),常用于打底鍍層。
脈沖電鍍:減少鍍層晶粒大小,提升硬度和耐磨性,適配高頻、高功率電子載板。
