核心工藝特點
鍍層材質以銅、鎳、金、錫為主,適配不同電子場景需求。
對鍍層均勻性、厚度精度要求,通常需控制在微米級。
需結合載板材質(如陶瓷、樹脂、硅)定制前處理和電鍍參數(shù)。
載板電鍍加工的原材料成本占總成本的比例因多種因素而異,通常在 30% - 50% 左右。
根據(jù)行業(yè)相關資料,在 mSAP 載板的產品成本結構中,原材料成本約占 45%,包括基材、銅箔、藥液等。IC 載板的原材料成本占比也較高,例如 ABF 載板的原材料成本構成中,ABF 膜大概占比 32%,銅箔跟基板占 8%,銅粉加金鹽占 2%,干膜占 1.5%,油墨占 1.5%,錫球占 2%。
面板級加工:扇出型封裝常采用面板級封裝(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板級電鍍設備可加工尺寸高達 515x510 毫米的面板,相比傳統(tǒng)晶圓級封裝,能提高生產效率,降低成本。
高精度要求:需滿足高密度互連(HDI)、超細線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)的要求,對鍍層均勻性、致密度、附著力、純度等方面要求,例如銅鍍層孔隙率需≤1 個 /cm2。
復雜結構處理:對于埋入式扇出型封裝結構,可能存在深寬比較大的通孔,電鍍時需要特殊工藝處理,以避免產生空洞等缺陷。
半加成工藝載板電鍍是一種用于制造高精度電子載板的工藝方法,在半導體封裝等領域應用廣泛。以下是關于它的詳細介紹:
工藝原理:半加成法(SAP)的核心是通過 “逐步沉積銅層” 形成電路。先在絕緣基板表面制備超薄導電層,即種子層,再通過光刻技術定義線路圖形,對圖形區(qū)域電鍍加厚銅層,去除多余部分后形成完整電路。改良型半加成法(mSAP)則是在基板上預先貼合 3-9μm 的超薄低輪廓銅箔作為基銅,再進行后續(xù)操作。
工藝流程
基材準備:使用表面平整的超薄銅箔基板或無銅基材,如 1-2μm 厚銅層的基板或 ABF 薄膜等。
化學沉銅:通過化學沉積在基材表面形成 0.3-0.8μm 的薄銅層,作為導電基底,即種子層。
圖形電鍍銅:對露出的種子層區(qū)域進行電鍍加厚,使線路達到設計厚度,通常至 5-15μm,形成導線主體。
去膠與蝕刻:移除光刻膠或干膜,然后蝕刻掉未被電鍍覆蓋的薄種子層銅,由于種子層厚度極薄,蝕刻側蝕極小。
表面處理:進行沉金、OSP、沉錫等表面處理,以滿足后續(xù)封裝和焊接等工藝的要求。
