關(guān)鍵加工環(huán)節(jié)
前處理:包括除油、微蝕、活化,確保載板表面潔凈無(wú)雜質(zhì)。
電鍍沉積:通過(guò)電解或化學(xué)沉積方式,讓金屬離子均勻附著在載板表面。
后處理:涵蓋清洗、烘干、檢測(cè),保障鍍層質(zhì)量達(dá)標(biāo)。
IC 載板電鍍加工是半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的核心工藝,專為 IC 載板(如 ABF 載板、BT 載板)沉積高精度金屬鍍層,核心作用是實(shí)現(xiàn)芯片與基板的可靠電連接、提升散熱與抗腐蝕性能。
面板級(jí)加工:扇出型封裝常采用面板級(jí)封裝(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板級(jí)電鍍?cè)O(shè)備可加工尺寸高達(dá) 515x510 毫米的面板,相比傳統(tǒng)晶圓級(jí)封裝,能提高生產(chǎn)效率,降低成本。
高精度要求:需滿足高密度互連(HDI)、超細(xì)線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)的要求,對(duì)鍍層均勻性、致密度、附著力、純度等方面要求,例如銅鍍層孔隙率需≤1 個(gè) /cm2。
復(fù)雜結(jié)構(gòu)處理:對(duì)于埋入式扇出型封裝結(jié)構(gòu),可能存在深寬比較大的通孔,電鍍時(shí)需要特殊工藝處理,以避免產(chǎn)生空洞等缺陷。
電子載板電鍍加工主流工藝類型
電解電鍍:適用于大批量、高厚度鍍層需求(如銅鍍層≥3μm),成本較低,效率高。
化學(xué)鍍:無(wú)需通電,鍍層均勻性好,適配復(fù)雜結(jié)構(gòu)載板(如盲孔、細(xì)線路),常用于打底鍍層。
脈沖電鍍:減少鍍層晶粒大小,提升硬度和耐磨性,適配高頻、高功率電子載板。
