前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機(jī)物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進(jìn)行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學(xué)鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導(dǎo)電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
工藝適配相關(guān)故障
線路橋連 / 短路:超細(xì)線路(≤10μm 線寬)間出現(xiàn)鍍層粘連,多因光刻膠顯影不徹底、電鍍時(shí)金屬離子過度沉積,或鍍液整平性差。
盲孔 / 埋孔填充不良:孔內(nèi)出現(xiàn)空洞、凹陷,影響層間導(dǎo)通和散熱。成因是鍍液流動(dòng)性不足、電流密度未針對深寬比優(yōu)化,或添加劑中整平劑含量不足。
基材損傷:特殊基材(如 PTFE)出現(xiàn)翹曲、開裂,多因電鍍溫度過高(超過基材耐熱極限),或前處理化學(xué)藥劑腐蝕基材表面。
種子層沉積:構(gòu)建導(dǎo)電基底
采用物相沉積(PVD)或化學(xué)鍍,在絕緣基材表面沉積超薄導(dǎo)電層(銅或鎳)。
種子層厚度控制在 0.1-0.5μm,要求覆蓋均勻、無針孔,為后續(xù)圖形電鍍提供穩(wěn)定導(dǎo)電通道。
沉積后需做簡易附著力檢測,避免種子層脫落影響后續(xù)工藝。
圖形轉(zhuǎn)移:定義線路與鍍層區(qū)域
涂布高精度光刻膠 / 干膜,通過曝光、顯影工藝,將線路圖形轉(zhuǎn)移到基材表面。
高頻高速板對圖形精度要求,需控制線寬 / 線距偏差≤±1μm,避免開窗偏移導(dǎo)致鍍層錯(cuò)位。
顯影后進(jìn)行檢查修正,去除殘留膠渣,確保線路區(qū)域完全裸露、非線路區(qū)域被保護(hù)。
