前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
常見鍍層材料及應用
金:具有良好的導電性、耐腐蝕性和耐磨性,常用于高頻連接器、射頻接口等關(guān)鍵區(qū)域,鍍層厚度一般為 1-3μm。
銀:電阻率低,高頻損耗小,適用于普通信號焊盤和線路,鍍層厚度約 0.1-0.2μm,但需注意防氧化處理。
銅:作為基礎導電層,廣泛應用于線路電鍍,厚度通常在 5-20μm,通過優(yōu)化電鍍工藝,可提高其信號傳輸性能。
工藝適配相關(guān)故障
線路橋連 / 短路:超細線路(≤10μm 線寬)間出現(xiàn)鍍層粘連,多因光刻膠顯影不徹底、電鍍時金屬離子過度沉積,或鍍液整平性差。
盲孔 / 埋孔填充不良:孔內(nèi)出現(xiàn)空洞、凹陷,影響層間導通和散熱。成因是鍍液流動性不足、電流密度未針對深寬比優(yōu)化,或添加劑中整平劑含量不足。
基材損傷:特殊基材(如 PTFE)出現(xiàn)翹曲、開裂,多因電鍍溫度過高(超過基材耐熱極限),或前處理化學藥劑腐蝕基材表面。
去膠與蝕刻:剝離多余金屬
用化學脫膠劑或等離子體去除表面光刻膠 / 干膜,露出下方未被電鍍覆蓋的種子層。
采用微蝕工藝,蝕刻掉多余種子層,僅保留電鍍形成的功能線路,控制側(cè)蝕量≤0.5μm。
蝕刻后徹底水洗,避免殘留藥劑腐蝕鍍層或基材。
