FH413A05三軸加速度傳感器說明書MEMS三軸加速度傳感器，電容加速度計

一、簡介

FH413A05 三軸加速度傳感器由我公司自行研制，用于測量加速度的傳感器。它采用低功耗、高精度、低噪聲MEMS芯片，具有 BIMOS 信號限制電路。設(shè)計考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有低功耗、高可靠性和高封裝堅固性，并具自檢測（Self-Test）等功能，可實現(xiàn)自檢測。

本產(chǎn)品可用于汽車測控、慣性導(dǎo)航、飛行器系統(tǒng)、地震監(jiān)控、 傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統(tǒng)中。

二、原理

FH413A05三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面 MEMS 多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個克 服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質(zhì)塊 相連的中央板形成的差動電容器機構(gòu)來測量比例于加速度的多硅結(jié) 構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號。

三、技術(shù)條件

性能

FH413A性能

Ax ，Ay ，Az

測量范圍（ g）

±2

±4

±5

± 10

±20

±40

靈敏度（mV/g）

1000±50

500±50

400±30

200±20

100±10

50±5

帶寬（10%，Hz）

0～500

零 g 偏置電壓（V）

2.5±0.05

滿量程輸出（V）

0.5-4.5

零偏溫度變化（mg/ °C）

±0.2~ ±0.8

交叉軸影響（%）

≤2

非線性度(％F.S)

≤0.1

噪聲密度（ug/ √Hz）

20~80

供電要求

供電電壓(VDC)

12±0.5

輸入電流（mA）

≤20

工作環(huán)境

使用溫度（。C）

-45～+85

抗沖擊（ g）

5000

重量、體積

重量(g)

≤20

體積（mm3 )

21.6×21.6×12.4